一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置
发布时间：2024-08-09
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- 所属单位：
- 机电工程学院
- 专利范围：
- 国内
- 发明设计人：
- 翟彦昭
- 专利类型：
- 实用新型
- 专利状态：
- 专利授权
- 申请号：
- 2018219154109
- 是否职务专利：
- 是
- 申请日期：
- 2018-11-20
- 授权日期：
- 2019-05-21
- 第一作者：
- 张学锋,叶向东,蔡安江
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