一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置及方法
发布时间:2024-08-09
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- 所属单位:
- 机电工程学院
- 专利范围:
- 国内
- 发明设计人:
- 翟彦昭
- 专利类型:
- 发明专利
- 专利状态:
- 专利授权
- 申请号:
- 2018113847692
- 是否职务专利:
- 是
- 申请日期:
- 2018-11-20
- 授权日期:
- 2024-04-26
- 第一作者:
- 张学锋,叶向东,蔡安江
教授 博士生导师 硕士生导师
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